전체 글12 화학적기상증착법 Chemical Vapor Deposition (CVD) 앞서 포스팅한 박막 증착 과정에서 보았듯이, 금속 박막을 증착하는 방법에는 물리적 방법과 화학적 방법이 있다. -물리적기상증착법 : Physical Vapor Deposition (PVD) -화학적기상증착법 : Chemical Vapor Deposition (CVD) 두 가지 방법의 가장 큰 차이점은 공정 전후의 차이가 물리적 혹은 화학적 변화를 동반하는지 유무이다. 이름에서 알 수 있듯이 CVD는 원료 기체와 최종 박막이 서로 다른 화학적 조성을 갖는다. PVD에서도 증착방법을 원리에 따라 구분하였듯이 CVD도 마찬가지로 열과 플라즈마에 따라 그 방법이 분류된다. 열에너지 -대기압CVD (APCVD) -저기압CVD (LPCVD) 플라즈마 -플라즈마CVD (PECVD) -고밀도플라즈마CVD (HDPCVD.. 2022. 8. 21. 금속박막 (metal thin film) 제작 과정 제작 과정 : 1)산화 공정 -> 2)포토 공정 -> 3)식각 공정 -> 4)증착 공정 -> 5)금속 공정 1) 산화 공정 웨이퍼에 절연막 역할을 하는 산화막(SiO2)를 형성해 회로사이의 누설전류를 차단하기 위함 *사용 장비 : Rapid Thermal Processing + Furnace(hot-wall) vs RTP(cold-wall) [공간전체를 일정한 온도로 가열하는 방식인 hot-wall] [웨이퍼만 목표 온도로 가열하는 방식인 cold-wall] -> 전통적인 방식인 furnace 장비와 비교하여 RTP는 processing time 및 uniformity 부분에서 우수하다. 2) 포토 공정 감광액을 유리기판이나 웨이퍼 위에 코팅하여 그 위로 패턴이 담긴 마스크에 UV를 통화시켜 회로룰 찍어.. 2022. 8. 7. SQUID (Superconducting Quantum Interference Device) SQUID는 아주 미세한 자기장 변화를 측정할 수 있는 소자이며 초전도체의 성질을 이용한다. 먼저 초전도체는 낮은 온도에서 저항이 0이 되는 물질로써 다음의 3가지 주요한 임계값을 가진다. 1) 임계전류밀도 (critical current density , Jc) : 초전도체를 통하여 흐를 수 있는 최대 전류 2) 임계자장 (critical magnetic field, Hc) : 초전도체에 외부자기장이 가해지면 내부 저항이 0이되어 반자성 성질을 띄는 마이스너 효과가 발생, 이때의 가해지는 자기장의 임계값 3) 임계온도 (critical temperature, Tc) : 저항이 0이 되는 절대온도 세 가지 임계값 중 하나라로 범위를 벗어나면 상전도체로 상전이가 발생한다, 이를 quench 현상이라 한다... 2022. 7. 22. Fusion 원자력 에너지는 크게 두 가지 원리로 나뉘게 된다. 1. 핵분열 에너지 2. 핵융합 에너지 먼저 핵분열 에너지의 경우, 원자력 발전소에서 핵분열 원리를 이용하여 발생한 에너지이다. 핵분열은 중성자가 원자핵과 충돌하며 발생한 열에너지를 이용한다. 에너지를 가진 중성자가 우라늄이나 플루토늄과 같은 원소가 포함된 연료봉과 상호작용하여 중성자, 핵분열 생성물, 열에너지 등을 발생시킨다. 이렇게 발생한 열에너지를 이용하여 일반 발전소의 원리와 동일하게 물을 끓이고 증기를 만들어 터빈을 돌려 전기를 생산한다. 핵융합 에너지의 경우 1억도 이상의 고온,고압 상태의 플라즈마 상태에서 중수소와 삼중수소가 만나 헬륨 원소를 생성하며 이와 동반하여 발생하는 질량손실을 에너지로 발생시킨다. 핵융합 에너지를 만들기 위한 상업로.. 2022. 7. 11. X-ray Absorption Spectroscopy (X선 흡수분광법) XAS는 X선을 이용하여 물질의 종류에 상관없이 (고체,액체,기체 형태의 샘플) 원자 선택적인 전자구조(산화상태, 스핀상태, 공유결합)과 원자주변의 국소 기하학적 구조를 분석할 수 있는 기법이다. 구글에 EM wave spectrum을 검색하면 X-ray의 파장 영역대를 확인할 수 있다. 이 중 상대적으로 파장이 긴 영역대의 X-ray를 연X선 (soft x-ray) 라고 한다. 에너지는 수십에서 수천 eV이며, 지구상의 대부분의 원소들의 외곽전자를 여기시킬 수 있다. 물질의 각 원소들의 전기 화학적 상호작용 특성은 외곽전자에서 두드러지게 나타나기 때문에 전자구조의 변화를 분석하기 위해서는 연X선을 사용하는 것이 효과적이다. 따라서 우리는 X선과 전자구조의 변화에 관심을 가져야 한다. X선 먼저 X선 흡.. 2022. 6. 17. 북한의 우라늄 농축 확장 계속해서 북한의 핵 실험 준비활동 정황이 포착됨에 따라 관련된 정보들을 수집하여 분류해보았다. 1. 우라늄 농축 배경 먼저 통일연구원에서 작성한 '북한의 고농축우라늄 프로그램 추진 실태' 보고서에 따르면 제네바 합의가 이행중이던 1990년대 후반부터 북한이 핵개발을 추진하고 있다는 의혹들이 제기되기 시작하였다. (※제네바합의 : 1994년 10월 21일 북한의 핵문제를 해결하기 위해 스위스 제네바에서 미국과 북한이 체결한 비공개 양해록, 핵사찰 허용과 경수로 제공을 약속한 기본 합의문이다) 공개된 정보에 따르면 김사내라는 북한여성의 의문의 죽음이 북한과 파키스탄 간에 군사정보 거래 일명 '파키스탄 커넥션' 가능성이 제기되었다. 2004년 통일연구원 보고서에 따르면 김사내라는 인물은 당시 파키스탄 주재 북.. 2022. 5. 15. 이전 1 2 다음
